这种需要输出十千瓦以上的电源模块要保证以很低的平均功率提供高能脉冲,确保脉冲功率的准确性和可重复性,因为脉冲功率很高的话可以提升等离子密度和离子能量,这才能支持更快更深的等离子蚀刻工艺步骤以及缩短沉积工艺时间。
周晓东那是亲自动手设计这种电源模块的需要的数模混合芯片和一些硬件电路,写控制算法软件。
为了跟踪等离子的变化做出动态和实时的检测,周晓东自己还动手写了CCD检测设备的对等离子体变化的图像识别算法。
这个过程当中他和罗志平和这些高级工程师一起设计讨论了一种新型的电子束加速器的技术方案。
牧野电子科技公司、玄思科技公司以及星环科技公司的技术团队都是承担了各种子系统部件研发制造的任务。
牧野电子科技公司这边承担了电源模块和一些精密器件的研制工作,玄思科技公司那种钟保国带领的技术团队承担了光学检测装置的研制工作,而星环科技公司这边则承担了陶瓷静电吸盘的研制工作。
像这些子系统部件对材料和加工工艺要求极高,要不断地研制材料配方和各种高难度加工工艺,就算是海外一般的公司是不敢轻易尝试的。